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近年來我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)開展迅猛,半導(dǎo)體芯片行業(yè)運用大批研磨液進(jìn)行芯片打磨拋光,發(fā)作各種研磨液廢水,但隨著大眾環(huán)保意識和環(huán)保請求的進(jìn)步,環(huán)境凈化也日益遭到人們的關(guān)注。現(xiàn)有的研磨廢水個別須要進(jìn)行解決,到達(dá)規(guī)范后能力排放,現(xiàn)有的解決工藝個別采取普通絮凝積淀、電絮凝、高pH膜過濾等的解決工藝。
增添絮凝劑為罕用的絮凝方法,然而因為研磨液浮現(xiàn)強(qiáng)穩(wěn)固性須要投加大批的絮凝劑能力起到絮凝作用,這無疑增添了企業(yè)的投入老本,而且,投加的絮凝劑量大,發(fā)作的污泥量也隨著增添,使得后續(xù)污泥解決的難度也隨之增大。
(1)取研磨廢水,調(diào)理研磨廢水的pH值為8.5-10.5;
(2)向經(jīng)步驟(1)解決后的研磨廢水中參加破穩(wěn)劑,使得研磨廢水中破穩(wěn)劑的質(zhì)量濃度和懸浮物的質(zhì)量濃度之比為1:9-13,而后攪拌10-50min,得破穩(wěn)廢水;
(3)向步驟(2)中的破穩(wěn)廢水中順次參加絮凝劑和助凝劑,使得破穩(wěn)廢水中絮凝劑的質(zhì)量濃度與懸浮物的質(zhì)量濃度之比為1:90-120,助凝劑與懸浮物的質(zhì)量濃度之比為1:9-13,然落后行沉降分別即可。
在增添絮凝劑、助凝劑之前先參加由硅酸鈉、偏鋁酸鈉和氫氧化鈣制成的破穩(wěn)劑,首先,破穩(wěn)劑造成的物資外表帶有正電荷,正好與研磨廢水中的懸浮顆粒外表的負(fù)電荷發(fā)作電中和,使得研磨廢水中的懸浮物集合成絮凝體,研磨廢水中的電位下降,研磨廢水中懸浮顆粒的穩(wěn)固狀況被損壞,懸浮顆粒集合為較大的顆粒,發(fā)作沉降,因為研磨廢水中懸浮顆粒的穩(wěn)固狀況被損壞,因而,后續(xù)只要參加很大批的絮凝劑便可完成懸浮物沉降的目標(biāo);其次,參加的破穩(wěn)劑在研磨廢水中造成多孔的具備吸附作用的物資,可對研磨廢水中的懸浮顆粒進(jìn)行吸附,進(jìn)一步進(jìn)步懸浮顆粒去除速度,最終完成水體凈化的作用。